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Report

Title: Messung von Oberflächenprofilen mit dem Raster-Elektronenmikroskop - Herstellen und Auswerten von Stereobildpaaren
Author(s): K. Eckolt
Year: 1983
Document number: PTB-Me-44
Pages: 116 S., 53 Abbildungen
Custom: DM 29,50
Keywords: PTB-Me-
Abstract: Das beschriebene Verfahren der Herstellung von REM-Stereobildpaaren und deren quantitative Auswertung läßt exakte Aussagen über die Feingestalt von Oberflächen zu. Daraus ergeben sich zwangsläufig Rückschlüsse auf bisher nicht erfaßbaren systematischen Fehler des Tastschnittverfahrens.

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