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Report
Title: | Messung von Oberflächenprofilen mit dem Raster-Elektronenmikroskop - Herstellen und Auswerten von Stereobildpaaren |
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Author(s): | |
Year: | 1983 |
Document number: | PTB-Me-44 |
Pages: | 116 S., 53 Abbildungen |
Custom: | DM 29,50 |
Keywords: | PTB-Me- |
Abstract: | Das beschriebene Verfahren der Herstellung von REM-Stereobildpaaren und deren quantitative Auswertung läßt exakte Aussagen über die Feingestalt von Oberflächen zu. Daraus ergeben sich zwangsläufig Rückschlüsse auf bisher nicht erfaßbaren systematischen Fehler des Tastschnittverfahrens. |