Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) erweitert seit vielen Jahren ihre Messtechnik für die Charakterisierung optischer Komponenten im extrem-ultravioletten Spektralbereich (EUV). Sie unterstützt dabei Europäische Firmen, die weltweit führend sind bei der Entwicklung der EUV-Lithographie zur Herstellung von Halbleiter-Bauelementen unter Nutzung von Strahlung mit einer Wellenlänge von...
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