Zur gezielten Fertigung spannungsfreier Einkristalloberflächen, die als Laserspiegel in kombinierten optischen und Röntgeninterferometern dienen, wurde ein geschlossener Bearbeitungskreislauf entwickelt. Einmal auf den Polierkopf montiert wird das Werkstück in dieser Einheit in die Schleif-/Poliermaschine, den Ebenheitsprüfer und das Orientierungsdiffraktometer eingebracht. Netzebenenabweichungen...
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