Logo PTB
Symbolbild "News"

Bundeswirtschaftsminister Müller im Synchrotronstrahlungslabor der PTB bei BESSY II

11.07.2001

Bundeswirtschaftsminister Müller besuchte am 3. Juli 2001 BESSY II, um sich über die Vorbereitungen der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) zur Errichtung eines Niederenergie-Kompaktspeicherringes für die UV- und EUV-Metrologie und -Technologie zu informieren.

Die PTB plant in enger Kooperation mit der Berliner Elektronenspeicherring-
Gesellschaft für Synchrotronstrahlung mbH (BESSY) die Errichtung eines Kompaktspeicherringes mit durchstimbarer Elektronenenergie von 200 MeV bis 600 MeV.
Der Kompaktspeicherring soll in die BESSY-II-Anlage am Wissenschafts- und Wirtschaftsstandort in Berlin-Adlershof integriert werden und als intensive Quelle kurzwelliger UV- und EUV-Strahlung dienen.

Die Pläne der PTB entsprechen dem seit vielen Jahren erkennbaren Bedarf an solcher Strahlung in Europa und werden vom BESSY-Aufsichtsrat ebenso wie vom Kuratorium der PTB nachhaltig unterstützt. Die Bereitstellung der Investitionsmittel für die Errichtung des Speicherringes wird vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie (BMWi) für den 4-Jahreszeitraum von 2004 bis 2007 vorgesehen. Der UV- und EUV-Spektralbereich gewinnt weltweit zur Realisierung immer kleinerer Halbleiterstrukturen wachsende Bedeutung. Auch die deutsche Industrie unternimmt gemeinsam mit europäischen Partnern große Anstrengungen, um Halbleiterstrukturen mit Breiten von zunächst 70 nm und – entsprechend den Vorgaben der "International Technology Roadmap for Semiconductors" – in 15 Jahren von etwa 20 nm zu erreichen.

Dabei spielen die Arbeiten der PTB zur Entwicklung der erforderlichen komplexen UV- und EUV-Messtechnik eine zentrale Rolle.Zahlreiche Kooperationsvereinbarungen mit der deutschen Industrie unterstreichen die Bedeutung der neuen UV- und EUV-Messtechnik und lassen auch das Vertrauen erkennen, das die deutsche Industrie in die Kompetenz der PTB auf diesem Gebiet setzt.