Inhalt
Übersicht
In einem virtuellen Experiment wird ein Messprozess mathematisch modelliert und auf dem Computer simuliert. Dabei wird angestrebt, das physikalische Experiment möglichst realistisch abzubilden. Mittels virtueller Experimente lassen sich unterschiedliche Szenarien in einfacher Weise durchspielen und Messverfahren können so auf dem Computer entworfen und spezifiziert werden. Darüber hinaus lassen sich mit virtuellen Experimenten die Genauigkeiten realisierter Messsysteme abschätzen. Durch Sensitivitätsanalysen können dominante Unsicherheitsquellen identifiziert und quantitativ untersucht werden, was dann zur Optimierung eines Messsystems genutzt werden kann. Virtuelle Experimente sind auch bei der Entwicklung von Methoden der Datenanalyse für reale Experimente hilfreich. So können unterschiedliche Schätzverfahren unter realistischen Bedingungen verglichen und Annahmen über die Verteilung von Messwerten geprüft werden.
Forschung
Forschungsschwerpunkte in der Arbeitsgruppe 8.42 der PTB sind virtuelle Experimente für optische Messvorrichtungen und die zugehörige Entwicklung von Datenanalyseverfahren für die Messdatenauswertung. Hierzu wurde die Simulationsumgebung SimOptDevice als Softwarebibliothek entwickelt, mit der mittlerweile eine Vielzahl von Anwendungen für die Formmessung, Photometrie, sowie der Längen- und Koordinatenmesstechnik realisiert worden sind. SimOptDevice wird ständig gepflegt und in seiner Funktionalität erweitert. Ein aktueller Schwerpunkt bei den Anwendungen von SimOptDevice ist das Tilted-Wave Interferometer zur Messung von Asphären- und Freiformoberflächen. Dabei werden Datenanalyseverfahren zur Lösung des dazugehörigen inversen Problems, sowie zur Justage des Messverfahrens entwickelt und mittels virtueller Experimente erprobt. Weitere Forschungsfragestellungen in der Arbeitsgruppe 8.42 der PTB sind die Ermittlung von Messunsicherheiten bei realen Messungen unter Zuhilfenahme virtueller Experimente sowie die Untersuchung von Möglichkeiten, Methoden des „deep learning“ im Zusammenhang mit virtuellen Experimenten einzusetzen. So lässt sich etwa mittels virtueller Experimente eine große Datenbank generieren, die dann für das Trainieren eines neuronalen Netzes zur Auswertung experimenteller Daten genutzt werden kann.
Publikationen
Publikations Einzelansicht
Artikel
Titel: | Concept, design and capability analysis of the new Deflectometric Flatness Reference at PTB |
---|---|
Autor(en): | M. Schulz, G. Ehret, M. Stavridis;C. Elster |
Journal: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment |
Jahr: | 2010 |
Band: | 616 |
Ausgabe: | 2-3 |
Seite(n): | 134--139 |
DOI: | 10.1016/j.nima.2009.10.108 |
ISSN: | 01689002 |
Web URL: | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168900209020592 |
Schlüsselwörter: | ESAD,Flatness measurement,Nanometrology,Simulation |
Marker: | 8.42,Deflectometry,Form,SimOpt |
Zusammenfassung: | At PTB, a new setup for the highly accurate topography measurement of nearly flat optical surfaces is now under construction. The so-called Deflectometric Flatness Reference (DFR) is designed to measure in the direct deflectometric mode by applying an autocollimator and a scanning pentaprism, and in the difference deflectometric mode corresponding to the Extended Shear Angle Difference (ESAD) principle invented by PTB. With the new DFR instrument, horizontally as well as vertically orientated specimens with dimensions of up to 1m and a mass of up to 120kg will be measurable. The design of the new instrument is supported by employing a comprehensive simulation environment developed for dimensional measuring machines. The mechanical and optical concept is illustrated together with the current design of the DFR setup. Results from the simulations are presented to derive requirements for tolerated mechanical stage deviations and alignment accuracies. |