Metrologie mit Synchrotronstrahlung

Aus kombinierten Messdaten für Röntgenstreuung und -fluoreszenz kann zerstörungsfrei die Geometrie periodischer Nanostrukturen rekonstruiert werden. Für die Anwendung dieses neuen, hybriden Verfahrens unter Nutzung von Synchrotronstrahlung wurde eine kompakte Messkammer entwickelt und bei BESSY II in Betrieb genommen.

Die Halbleiterindustrie benötigt Messysteme, mit denen die Dimensionen von Transistorstrukturen im Nanometerbereich schnell, zerstörungsfrei und metrologisch zuverlässig charakterisiert werden können. Eine große Herausforderung ist dabei die Begrenzung der Auflösung der Messsysteme durch die Wellenlänge der eingesetzten Strahlung. An der PTB und der RWTH Aachen wird deshalb die Verwendung von...

Auf der Fachtagung ‚Prozessnahe Röntgenanalytik (PRORA) 2022‘ wurde Karina Bzheumikhova, Doktorandin in der Arbeitsgruppe 7.24 Röntgenspektrometrie, mit dem Posterpreis für die Präsentation ihrer Arbeit ‚X-ray spectroscopy investigation of LiNi_xCo_yMn_1-x-yO₂ cathode materials: the final step to understanding pristine NMC cathode materials‘ ausgezeichnet.