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Metrologie mit Synchrotronstrahlung

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ist das nationale Metrologie-Institut und oberste Instanz bei allen Fragen des richtigen und zuverlässigen Messens in Deutschland. Seit 1982 verwendet die PTB auch Synchrotronstrahlung für metrologische Aufgaben. Die über 75 Beschäftigten der Fachbereiche 7.1 Radiometrie mit Synchrotronstrahlung und 7.2 Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung unterhalten und nutzen dazu in Berlin-Adlershof ein Laboratorium am Speicherring BESSY II des Opens external link in new windowHelmholtz-Zentrum Berlin (HZB) sowie die PTB-eigene Metrology Light Source (MLS).

Die Schwerpunkte der Arbeiten liegen in den Bereichen:

  •  Grundlagen der Metrologie/Radiometrie
  •  Metrologie für die Industrie/EUV-Lithographie
  •  Forschung und Entwicklung für optische Technologien/Weltrauminstrumente
  •  Materialmetrologie/Nanometrologie

Nachrichten

Am 23. Mai 2023 fand der diesjährige QUNOM (Quantification of Uncertainties in Nano Optical Metrology)-Workshop mit Teilnehmern aus mehreren europäischen Ländern statt. Der Workshop wurde von der XUV-Gruppe an der Universität Twente ausgerichtet und mitorganisiert von Dr. Sebastian Heidenreich (PTB Arbeitsgruppe 8.43 Modellierung und Simulation) und Dr. Victor Soltwisch (Arbeitsgruppe 7.14 EUV...

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