Kryosensortechnologie

Die Arbeitsgruppe 7.62 Kryosensortechnologie fertigt kryoelektronische Sensorschaltungen in Dünnschichttechnologie für metrologische Anwendungen. Hauptsächlich werden SQUIDs (Supraleitende Quanteninterferenz-Detektoren) für den Fachbereich Kryosensorik und für andere Arbeitsgruppen der PTB sowie für externe Partner hergestellt. Die Arbeitsgruppe verfügt u.a. über einen Reinraum, Dünnschichtdepositionsanlagen, Plasmaätzanlagen und Geräte zur UV- und Elektronenstrahllithografie.

Die Entwicklungsarbeit in der AG 7.62 konzentriert sich aktuell auf die Technologieentwicklung für die Herstellung von metallischen magnetischen Kalorimetern (Metallic Magnetic Calorimeters-MMCs) für die Radionuklidmetrologie. Diese Arbeiten werden in enger Zusammenarbeit mit der Universität Heidelberg, dem KRISS und der AG 6.11 durchgeführt.

Gleichzeitig arbeiten wir an der Optimierung und Weiterentwicklung der etablierten Prozesse für die SQUID Herstellung. Hierbei besteht eine enge Zusammenarbeit mit dem Reinraumzentrum der PTB in Braunschweig.

Unsere Arbeitsgruppe bietet keine Dienstleistungen an.

Ein Teil unserer höchstempfindlichen SQUID Sensoren für magnetische Felder und elektrische Ströme sind kommerziell über den Vertragspartner Magnicon GmbH erhältlich.