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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Kalibrierdienstleistungen

Stichwortliste der Kalibrierdienstleistungen


Oberflächenmesstechnik - Fachbereich 5.1
Tiefeneinstellnormal (25 µm – 5 mm), Biegesteifigkeit von Mikrokraftsensoren, MEMS und AFM-Cantilevern AG 5.11 
Schichtdicke, Foliendicke AG 5.13 
Raunormal, Lateralnormal, Tastschnittgerät, Rauheit, Referenzsoftware Rauheit und Rillentiefe AG 5.15 
Härte, Härtevergleichsplatte, Eindringkörper, Brinell, Vickers, Rockwell, Knoop, Leeb, Shore, IRHD AG 5.12 


Dimensionelle Nanometrologie - Fachbereich 5.2
Strichmaßstab, Inkrementelles Längenmesssystem, Winkelendmaß, Prisma, Spiegelpolygon, Geradheitslineal, Winkelmesstisch, Indextisch, Drehgeber, Optischer Teilkopf, Autokollimator, Neigungsmessgerät AG 5.21
Mikrostruktur im REM AG 5.21
Tiefeneinstellnormal, AFM Stufenhöhennormale, Liniengitter, Kreuzgitter AG 5.23


Koordinatenmesstechnik - Fachbereich 5.3
Ring, Einstellring, Dorn, Einstelldorn, Kugel, Einmesskugel, Halbkugel, Rundheitsnormal, Zylinder, Kontrollsäule, Prüfzylinder, Flick, Vergrößerungsnormal, Mehrwellennormal, Halbkugelplatte, Konturnormal, Formabweichung, Rundheit, Geradheit, Zylindrizität, Rechtwinkligkeit, Parallelität, Durchmesser AG 5.31
Gewindenormal, Verzahnung, Zahnrad, Stirnrad AG 5.33
Kugelplatte, Kugelstab, Kugelleiste, KMG-Software, Komplexes Werkstück AG 5.35


Interferometrie an Maßverkörperungen - Fachbereich 5.4
Strichmaßstab, Messband, Maßband, Bandmaß, Entfernungsmesser, Laser-Entfernungsmesser, Laser Entfernungsmesser, Elektronischer Distanzmesser, EDM, Handentfernungsmesser, Totalstation, Laserinterinterferometer, Laserinterferometersystem, Tachymeter, Taster, Seilzuggeber, Traversenband, Triangulationsmessgerät AG 5.42
Parallelendmaß, Endmaß, Parallelendmass, Endmass AG 5.43
Thermische Ausdehnung, Langzeitstabilität von Längen, Kompressibilität AG 5.43