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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Schleifbearbeitung

Für die Fertigung hochgenauer Werkstücke mittels Koordinatenschleifen wird eine Koordinatenschleifmaschine („Jig-Grinder“) genutzt. Hauptaufgaben sind die Bearbeitung hochgenauer Kalibrierkörper und die Fertigung komplexer Geometrien zum Einsatz in der Messtechnik, überwiegend aus sprödharten Werkstoffen. Halbleitermaterialien wie z.B. Silizium- und Germanium-Einkristalle erfordern hohe Schnittgeschwindigkeiten im Schleifprozess. Um dies zu erreichen, stehen luft- und elektrisch angetriebene Hochgeschwindigkeits-Schleifspindeln zur Verfügung.

Für das Rundschleifen und Planschleifen stehen weitere hochgenaue Maschinen zur Verfügung.

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Blick in den Moore Jig-Grinder
Flachschleifen
Geschliffene Saphirplatten
in einer Ionenfalle

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