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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Konstruktion

Arbeitsgruppe 5.51
 
Auswahl konstruierter Messgeräte und Versuchseinrichtungen

 

 

 

 

 


Abb.: Mikrowellenmesseinrichtung
zur Leistungsflussdichtemessung
in Elektromagnetischen Feldern


 

 

 


Abb.: Apparatur zur Orientierung
von Gitternetzebenen in hochreinen
Silizium-Einkristallen


 

 

 

 

 

 


Abb.: DUV-Scatterometer


 

 

 

 

 


Abb.: Primär-Normalmesseinrichtung


 

 

 

 

 


Abb.: Photonenbestrahlungsanlage


 

 

 


Abb.: Kugelinterferometer


 

 

 

 

 

 


Abb.: Leuchtenpositionier-Einrichtung


 

 

 

 


Abb.: Reinstwassermesszelle


 

 

 

 

 

 

 


Abb.: Neigungssensor


 

 

 


Abb.: Elektropolieren


 

 

 

 

 

 

 


Abb.: Röntgenstrahlermessplatz


 

 

 


Abb.: Vakuumkammer


 

 

 

 

 


Abb.: Messpfad für das
Ultrapräzisionsinterferometer


 

 

 

 


Abb.: Zylindrisches Wasserkalorimeter


 

 

 

 

 


Abb.: Piezo-Probenumgebung


 

 

 


Abb.: TCAP-Streukammer


 

 

 

 


Abb.: Magnetisierungsmessplatz


 

 

 


Abb.: Funkenprüfgerät 2.0


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