Low-Noise-AFM
Ziel dieser Forschungsaufgabe ist die Entwicklung eines neuen rauscharmen 3D/CD-AFM mit den folgenden Forschungsschwerpunkten:
- eine verbesserte Version des 3D/CD-AFM, die ein geringeres Messgeräterauschen, einen automatischen Spitzenwechselmechanismus sowie eine bessere optische Beleuchtung gemeinsam mit einem optimierten optischen Mikroskop bietet;
- Messbereich von 12 µm x 12 µm x 8 µm (x, y, z);
- Positionierbereich des Probentisches von 210 mm x 210 mm x 8 mm (x, y, z);
- 3D-Nanometrologie unter Nutzung von speziellen „flared“-Tastspitzen;
- 3D-Nanometrologie unter Anwendung des „Tilting-AFM“-Prinzips;
- Das hierbei gesammelte Wissen steht im Rahmen des Technologietransfers durch die PTB für Interessenten zur Verfügung.
Das Messgerät wird gegenwärtig aufgebaut und optimiert.
Bild 1: (a) Foto des Aufbaus des Low-Noise-AFM;
(b) Wiederholbarkeit der Messungen bei Stillstandsmessung (Antasten des gleichen Messpunktes);