Logo PTB
Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Verschiebeinterferometrie

Arbeitsgruppe 5.22

Messtechnische Eigenschaften der Nanostation 300

 

 

Bei dem Messgerät Nanostation 300 handelt es sich um eine gemeinsam mit der Fa. Surface Imaging Systems (SIS) durchgeführte Geräteentwicklung für ein Basissystem zur rastersondenmikroskopischen Metrologie an größeren ebenen Messobjekten mit Abmessungen bis zu 300 mm.

Das System basiert auf einem stabilen Granittisch, auf dem ein Objekttisch mittels Luftlagern geführt wird. Zur Ausrichtung und anschließenden schnellen Bewegung des Messobjektes an die interessierende Messstelle kann dieses unter ein optisches Mikroskop positioniert werden. Die eigentliche rastersondenmikroskopische Antastung der Messstrukturen auf Masken oder Wafern geschieht nach Deaktivierung des Z-Luftlagers und Absenkung des Tisches zur Erzielung größtmöglicher Gerätestabilität.

 

Photo der Nanostation 300 im Reinraumzentrum der PTB

Die derzeitigen Entwicklungsschwerpunkte an der Nanostation 300 liegen in der Entwicklung von Messverfahren zur kantenselektiven, rastersondenmikroskopischen Antastung, Verfahren zu Tastspitzen-Rekonstruktion sowie in der Integration eines in 6 Achsen geregelten Piezo-Scantisches.

Kurzinfo: Poster über Nanostation 300