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Mess- und Kalibrierverfahren

Fachbereich 5.1
  • Kalibrierung von Raunormalen und Lateralnormalen  
  • Kalibrierung von Tiefeneinstellnormalen bis 5 mm Tiefe
  • Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM-Cantilevern und Referenzfedern
  • Kalibrierung von Schichtdickennormalen
  • Kalibrierung von Härtevergleichsplatten