VDI- und DKD-Richtlinien und Normen
Um ein einheitliches und vergleichbares Vorgehen in der Oberflächenmesstechnik zu gewährleisten, gibt es zahlreiche Richtlinien und Normen auf diesem Gebiet.
Expertinnen und Experten des Fachbereichs wirken z. T. in führenden Positionen in etlichen Gremien an diesen Dokumenten mit, die gemäß dem messtechnischen Fortschritt und den wachsenden Anwendungsgebieten der Messtechniken weiterentwickelt werden.
Während Normen und Richtlinien für die Profilrauheit bereits seit langem existieren, werden in den letzten Jahren erstmals umfassende Richtlinien- und Normenwerke für die flächige Rauheitsmessung (z. B. mit optischen Verfahren) erarbeitet.
Für die oberflächenanalytischen Verfahren wurden in den letzten 20 Jahren etliche Normen entworfen, die seit etwa 10 Jahren um normative Dokumente aus dem Bereich der Rastersondenmikroskopie ergänzt werden.
Fast alle VDI-Richtlinien und DIN-, CEN- bzw. ISO-Normen sind kostenpflichtig und können in Deutschland über den Beuth-Verlag bezogen werden:
www.beuth.de
Nicht alle ISO-Normen werden in die deutsche Sprache bzw. in das nationale deutsche Normenwerk übernommen. ISO-Normen lassen sich auf der Webseite der ISO recherchieren und können in der Regel auch direkt von der ISO bezogen werden:www.iso.org
Die nachfolgend aufgeführten 
DKD-Richtlinien und die Terminologie-Norm ISO 18115 mit ihren beiden Teilen ISO 18115-1 für die oberflächenanalytischen Techniken und ISO 18115-2 für die rastersondenmikroskopischen Techniken sind unter den unten genannten Bedingungen frei einzusehen.
DKD-Richtlinien
Richtlinen des Deutschen Kalibrierdienstes für die Rauheitsmessung.
deutschsprachig: 
DKD-R 4-2 Kalibrierung von Geräten und Normalen für die Rauheitsmesstechnik
DKD-R 4-2 Blatt 1 "Kalibrieren von Normalen für die Rauheitsmesstechnik"
DKD-R 4-2 Blatt 2 "Kalibrierung des vertikalen Messsystems von Tastschnittgeräten"
DKD-R 4-2 Blatt 3 "Kalibrierung von Normalen mit periodischen Profilen in horizontaler Richtung mit Tastschnittgeräten"
Blatt 4 Kalibrierung des horizontalen Messsystems von Tastschnittgeräten
englischsprachig: 
Version DKD-R 4-2 2009 en
Calibration of instruments and standards for roughness measurement technology
DKD-R 4-2 sheet 1, "Calibration of standards for roughness measuring technique"
Annex A "Uncertainty of measurement in the calibration of roughness standards"
Annex B "Uncertainty of measurement of the total height of profile of a depth-setting standard"
Annex C "Measurement uncertainty of the total height of profile of a depth-setting standard with the standard deviation of the groove depth as topography term"
Annex D "Uncertainty of measurement of the total height of profile of a depth-setting standard with the range of the groove depth as topography term"
DKD-R 4-2 sheet 2, "Calibrartion of the vertical measuring system of stylus instruments"
DKD-R-4-2 sheet 3, "Calibration of standards with periodic profiles in horizontal direction by means of stylus instruments"
Page 4 Calibration of the horizontal measuring system of stylus instruments
VDI/VDE 2655 Optische Messtechnik an Mikrotopographien
Blatt 1.1 - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefenseinstellnormalen für die Rauheitsmesstechnik
VDI: https://www.vdi.de/richtlinien/details/vdivde-2655-blatt-11-optische-messtechnik-an-mikrotopographien-kalibrieren-von-interferenzmikroskopen-und-tiefeneinstellnormalen-fuer-die-rauheitsmessung
BEUTH: http://www.beuth.de/de/technische-regel/vdi-vde-2655-blatt-1-1/105907758?websource=vdin
Blatt 1.2 - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmesstechnik
VDI: https://www.vdi.de/richtlinien/details/vdivde-2655-blatt-12-optische-messtechnik-an-mikrotopografien-kalibrieren-von-konfokalen-mikroskopen-und-tiefeneinstellnormalen-fuer-die-rauheitsmessung
Beuth: http://www.beuth.de/de/technische-regel/vdi-vde-2655-blatt-1-2/129221372?websource=vdin
Blatt 1.3 - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
Beuth: https://www.beuth.de/de/technische-regel-entwurf/vdi-vde-2655-blatt-1-3/276110731
Blatt 1.4 - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen für die Formmessung
Blatt 2.1 - Verfahren der Rauheitsmessung
Beschreibung der wesentlichen Filtermethoden der Normenreihe ISO 16610
In der Rauheitsmesstechnik werden international genormte Verfahren zur Trennung von Form, Welligkeit und Rauheit eingesetzt. Eine detaillierte Beschreibung in englischer Sprache bietet :
Terminologie für die Oberflächenanalytik und Rastersondenmikroskopie
Etwa 900 Begriffe für die Oberflächenanalytik (engl. surface chemical analysis) und Rastersondenmikroskopie (engl. scanning probe microscopy) sind vom ISO-Ausschuss ISO/TC 201 "Surface Chemical Analysis" in der aktuellen Ausgabe der Normenreihe ISO 18115 aus dem Jahr 2013 definiert worden.
Die beiden Teile der Norm ISO 18115 können auf der ISO-Webseite in englischer Sprache eingesehen werden. Es empfiehlt sich, Begriffe und Akronyme zunächst im Index-Dokument zu suchen und dann unter der angegebenen Nummer in der Norm nachzuschlagen.
Zu beachten sind die speziellen Nutzungshinweise (Copyright der ISO) unten*.
Alphabetische Verzeichnisse der Begriffe
Index zu Index ISO 18115-1 :2013(E) für die oberflächenanalytischen Techniken
Index zu Index ISO 18115-2 :2013(E) für die rastersondenmikroskopischen Techniken
Vollständige Normen
ISO 18115-1 :2013(E) Surface chemical analysis - Vocabulary - Part 1: General terms and terms used in spectroscopy*
ISO 18115-2 :2013(E) Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 2: Terms used in scanning-probe microscopy*
Der nationale Spiegelausschuss DIN NA 062-08-16 AA "Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie" fertigt derzeit eine Übersetzung in die deutsche Sprache an.
* Hinweis der Herausgeber:
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Permission has been granted by ISO for public access to ISO 18115-1 and ISO 18115-2 for educational and implementation purposes through eight approved websites at the National Physical Laboratory (UK), the American Vacuum Society (USA), the Environmental Molecular Sciences Laboratory (USA), the Surface Analysis Society of Japan (Japan), the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (Japan), the Bundesanstalt für Materialforschung und –prüfung (Germany), the Physikalisch-Technische Bundesanstalt (National Metrology Institute of Germany) and the Spanish Vacuum Society (Spain).
VDI/VDE 2656 Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen
Blatt 1 - Kalibrierung von Messsystemen
VDI:https://www.vdi.de/technik/fachthemen/mess-und-automatisierungstechnik/fachbereiche/fertigungsmesstechnik/gma-fa-341-oberflaechenmesstechnik-im-mikro-und-nanobereich/
BEUTH: http://www.beuth.de/de/technische-regel/vdi-vde-2656-blatt-1/102510872?websource=vdin
Blatt 2 (in Bearbeitung) Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen : Verfahren der Rauheitsmessung.