Die exzentrische Nanoindentation von Siliziummikrosäulen wurde untersucht. Es konnte gezeigt werden, dass eine Abweichung des gemessenen Indentationsmoduls von 10 % auftritt, wenn der Ort der Indentation um bis zu 40 % des Radius der Säule von deren Mitte abweicht. Während dieser Messungen bleibt die gemessene Eindringhärte nahezu konstant, während der gemessene Indentationsmodul einer parabolischen Abhängigkeit von der Exzentrizität folgt. Weitere Faktoren, die berücksichtigt werden müssen,...
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