16.11.2018
In der PTB wurde ein neues mathematisches Verfahren entwickelt, mit dem Messdaten eines Mueller-Ellipsometers ausgewertet werden. Anders als bislang üblich wird nun die Depolarisation des Lichtes, die durch den Prüfling verursacht wird, benutzt, um ein Maß für die Unsicherheit des nicht-depolarisierten Anteils abzuleiten. Bei den spektralen Messungen mit einem Mueller-Ellipsometer führt dies zu einer neuartigen Gewichtung der einzelnen Wellenlängenbeiträge zum Gesamtergebnis. Das Verfahren wird beispielsweise angewendet, um Geometrieparameter von Subwellenlängenstrukturen zu bestimmen.
Abstract als Pdf (Englisch)