10.02.2017
Die Tilted-Wave Interferometrie ist eine vielversprechende Methode zur hochgenauen Formmessung von Asphären und Freiformen. Bei der Auswertung der Interferenz-streifen erhält man i.d.R. nur relative optische Pfadlängendifferenzen (OPD). Zur ab-soluten Formmessung muss jedoch mindestens eine OPD absolut bekannt sein. In einer Simulationsstudie wurden die Anforderungen an die notwendige Genauigkeit und Art dieser absoluten OPD-Messung ermittelt.