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Übersichtsartikel: Quantitative Mikroskopie und dimensionale Nanometrologie

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Beitrag zu Tagungsband

Titel: Towards nanoscopy - optical metrology of nanostructures
Autor(en): B. Bodermann, E. Buhr, G. Ehret, Z. Li, F. Scholze, M. Wurm
Jahr: 2009
Buchtitel: 4th EOS Topical Meeting on Advanced Imaging Techniques
Seite(n): 40-41
Veranstaltungsname: 4th EOS Topical Meeting on Advanced Imaging Techniques
Veranstaltungsort: Jena, Germany
Veranstaltungsdatum: 10-12, June 2009
ISBN: 978-3-00-024189-5
Zusammenfassung: Many different approaches are currently investigated and developed to enable optical metrology for the challenges of nanotechnology. We will give a brief review over different approaches with an emphasis on latest developments at the PTB.

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