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Beitrag zu Tagungsband
Titel: | Sensoren der Mikro- und Nanomesstechnik |
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Autor(en): | B. Bodermann, H. Bosse, C. G. Frase, L. Koenders, G. Wilkening |
Jahr: | 2006 |
Monat: | November |
Tag: | 30 |
Buchtitel: | Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering : Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006 |
Seite(n): | 99-108 |
Verlag: | VDI-Verlag |
Verlagsort: | Düsseldorf |
Veranstaltungsname: | GMA-Fachtagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering"^ |
Veranstaltungsort: | Erlangen, Germany |
Veranstaltungsdatum: | 29-30, November, 2006 |
ISBN: | 3-18-091950-7 |
Zusammenfassung: | Im Bereich der Mikro- und Nanometrologie werden neben optischen Sensoren insbesondere auch scannende Methoden, wie Rasterelektronen- und Rasterkraftmikroskope eingesetzt. Mit kleiner werdenden Strukturen reicht die Berücksichtigung der rein "geometrisch-makroskopischen" Wechselwirkung zwischen Sensor und Probenoberfläche nicht mehr aus. Die Auswirkungen der mikroskopischen Wechselwirkungen zwischen der einfallenden optischen Welle, dem Elektronenstrahl oder der Rastersondenspitze mit der Oberfläche des Messobjektes werden in Modellen simuliert und mit tatsächlichen Messergebnissen verglichen, um daraus auf die wahre Struktur zurückzuschließen. Bei erforderlichen Unsicherheiten unterhalb etwa 10 nm sind solche Simulationen unerlässlich. |