Logo der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

Übersichtsartikel: Quantitative Mikroskopie und dimensionale Nanometrologie

Publikations Einzelansicht

Beitrag zu Tagungsband

Titel: Sensoren der Mikro- und Nanomesstechnik
Autor(en): B. Bodermann, H. Bosse, C. G. Frase, L. Koenders, G. Wilkening
Jahr: 2006
Monat: November
Tag: 30
Buchtitel: Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering : Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006
Seite(n): 99-108
Verlag: VDI-Verlag
Verlagsort: Düsseldorf
Veranstaltungsname: GMA-Fachtagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering"^
Veranstaltungsort: Erlangen, Germany
Veranstaltungsdatum: 29-30, November, 2006
ISBN: 3-18-091950-7
Zusammenfassung: Im Bereich der Mikro- und Nanometrologie werden neben optischen Sensoren insbesondere auch scannende Methoden, wie Rasterelektronen- und Rasterkraftmikroskope eingesetzt. Mit kleiner werdenden Strukturen reicht die Berücksichtigung der rein "geometrisch-makroskopischen" Wechselwirkung zwischen Sensor und Probenoberfläche nicht mehr aus. Die Auswirkungen der mikroskopischen Wechselwirkungen zwischen der einfallenden optischen Welle, dem Elektronenstrahl oder der Rastersondenspitze mit der Oberfläche des Messobjektes werden in Modellen simuliert und mit tatsächlichen Messergebnissen verglichen, um daraus auf die wahre Struktur zurückzuschließen. Bei erforderlichen Unsicherheiten unterhalb etwa 10 nm sind solche Simulationen unerlässlich.

Zurück zur Listen Ansicht