Interferometrische Ebenheits- und Sphärizitätsmessung
Die Ebenheit von optischen Planflächen bis zum Durchmesser von 300 mm wird standardmäßig mit einem kalibrierten Fizeau-Interferometer gemessen. Die Messunsicherheit beträgt dabei 5,5 nm (bzw.als erweiterte Messunsicherheit nach GUM 11 nm).
Die Kalibrierung des Interferometers und auch Sonderkalibrierungen mit der kleinstmöglichen Messunsicherheit erfolgen mit der in der PTB entwickelten hochgenauen ESAD - Messanlage. Diese erreicht Unsicherheiten im Subnanometer - Bereich und kann Prüflinge bis 500 mm Ausdehnung messen.
Zur Messung von Wellenaberrationen steht eine Twyman-Green-Erweiterung zur Verfügung. Damit kann z.B. die Wellenaberration von Objektiven (für eine Wellenlänge von 632 nm oder 543 nm und Objektentfernung unendlich) oder auch die Sphärizität von Reflexionssphären gemessen werden.