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Form- und Wellenfrontmetrologie

Arbeitsgruppe 4.21

Interferometrische Ebenheits- und Sphärizitätsmessung

Die Ebenheit von optischen Planflächen bis zum Durchmesser von 300 mm wird standardmäßig mit einem kalibrierten Fizeau-Interferometer gemessen. Die Messunsicherheit beträgt dabei 5,5 nm (bzw.als erweiterte Messunsicherheit nach GUM 11 nm).

Bild 1: Interferometeraufbau zur Ebenheitsmessung

Die Kalibrierung des Interferometers und auch Sonderkalibrierungen mit der kleinstmöglichen Messunsicherheit erfolgen mit der in der PTB entwickelten hochgenauen ESAD - Messanlage. Diese erreicht Unsicherheiten im Subnanometer - Bereich und kann Prüflinge bis 500 mm Ausdehnung messen.

Zur Messung von Wellenaberrationen steht eine Twyman-Green-Erweiterung zur Verfügung. Damit kann z.B. die Wellenaberration von Objektiven (für eine Wellenlänge von 632 nm oder 543 nm und Objektentfernung unendlich) oder auch die Sphärizität von Reflexionssphären gemessen werden.