Mit einem in der PTB entwickelten Kleinwinkel-Deflektometer (DFR: Deflectometric Flatness Reference) bieten wir Kalibrierungen der Ebenheit von optischen Planflächen entlang einzelner Schnitte mit Scanlängen von bis zu 900 mm an. Typische Anwendungen liegen im Bereich der optischen Industrie oder bei Röntgenoptiken. Die Prüflinge dürfen bis zu 150 kg schwer sein und dürfen eine maximale Steigung von 100 arcsec aufweisen. Bei nicht verspiegelten Flächen ist sicherzustellen, dass der Rückseitenreflex nicht in die gleiche Richtung wie der Vorderseitenreflex geht. Bei Bedarf können die einzelnen Schnitte auch zu einer Gesamttopografie zusammengefügt werden. Die erweiterten Messunsicherheiten (k=2) liegen im Bereich von einem Nanometer bis wenige Nanometer und sind u. a. abhängig von der Scanlänge. Die laterale Auflösung beträgt wenige Millimeter.
Abbildung: Kleinwinkel-Deflektometer zur Ebenheitsmessung
Kontakt
Dr.-Ing. Gerd Ehret
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