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Metrologie für die laserspektroskopische Luftqualitätsüberwachung in Reinräumen

23.01.2014

Die AG 3.22 hat die Arbeit an einem neuen Projekt im Schwerpunkt Industrie des Europäischen Metrologieforschungsprogramms EMRP aufgenommen, mit dem Ziel, neue Messtechniken für die Überwachung schwächster  molekularer  Kontaminationen in Reinräumen zu untersuchen. Zusammen mit Partnern aus den Metrologieinstituten Finnlands, Großbritanniens, Italiens, den Niederlanden und Tschechiens sollen insbesondere laserspektrometrische Verfahren auf ihre Tauglichkeit für die Reinraumluftüberwachung hin geprüft werden. Derzeit werden für die Überwachung meist nasschemische Verfahren eingesetzt, die eine langwierige Auswerteprozedur zur Folge haben. Um auf die Produktionsabläufe in der Halbleiterindustrie aber möglichst schnell Einfluss nehmen zu können, wenn Schadstoffe, wie z.B. Ammoniak, in der Reinraumluft auftreten und die Fertigung der Halbleiterelemente schädigen könnten, wäre die schnelle, quasi in situ Messung mittels laserspektroskopischer Methoden wichtig. Das Projekt hat eine Laufzeit von drei Jahren und die AG 3.22 beteiligt sich daran mit Arbeiten zur Cavity-enhanced-Spectroscopy- und zur photoakustischen Spektroskopie zum Nachweis von kleinsten Ammoniakspuren in Luft.

(A. Rausch / O. Werhahn / V. Ebert, AG 3.22, Opens window for sending emailvolker.ebert(at)ptb.de)