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Quantenelektronik

Herstellungstechnologie
im Reinraumzentrum

Optische Lithographie

Für die optische Belichtung von Photolack wird ein Kontaktbelichter eingesetzt:

Kontaktbelichter

Mit einem Maskenjustier- und Belichtungsgerät wird eine Cr-Maske zunächst zur Probe justiert, dann die Maske in Kontakt zur Photolackschicht gebracht und anschließend das Muster der Maske mit UV-Licht auf die Lackschicht der Probe übertragen.