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Quantenelektronik

Beschichtungsanlagen

Hochfrequenz-Kathodenzerstäubungsapparatur (Sputteranlage) für die Herstellung dielektrischer Schichten, ausgestattet mit drei Magnetron-Kathoden für SiO2, Si3N4 und Al2O3

Vakuum-Anlage zum Aufbringen dünner Schichten durch Sputtern