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Quantenelektronik

Arbeitsgruppe 2.41

Herstellungstechnologie
im Reinraumzentrum

Beschichtungsanlagen

Für die Herstellung dünner Metall- und Isolatorschichten werden hauptsächlich die folgenden zwei Verfahren eingesetzt:

Kathodenzerstäubung (Sputtern)

Mit Hilfe eines Niederdruck-Argonplasmas wird von einem Target Material abgestäubt. Die abgestäubten Teilchen kondensieren auf einer gegenüber dem Target angebrachten Probe zu einer dünnen Schicht. Die Kathodenzerstäubung kann sowohl für Metalle und Legierungen (z. B. Niob, Gold-Palladium) als auch für Isolatoren (z. B. Quarz) eingesetzt werden.

Aufdampfen

Durch starkes Erhitzen im Vakuum können viele Materialien zum Verdampfen gebracht werden. Dieses Verfahren eignet sich besonders gut für Metalle mit niedriger Schmelztemperatur (z. B. Aluminium, Gold).
Zum Erhitzen werden entweder resistiv geheizte Metallstreifen hochschmelzender Metalle, sogenannte Schiffchen, oder Elektronenstrahlen hoher Leistung verwendet.