
Ausstattung
Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (REM)
Strahlquelle | Schottky-Feldemissionskathode 0.1 - 30 keV |
Auflösung | 1.3 nm bei 15 kV |
Detektoren | In-Lens SE Detektor Kammer SE Detektor BSE Detektor |
Strahlquelle | Schottky-Feldemissionskathode 0.1 - 30 keV |
Auflösung | 1.3 nm bei 15 kV |
Detektoren | In-Lens SE Detektor Kammer SE Detektor BSE Detektor |