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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Elektronenstrahlschreiber (Raith, Typ EBPG 5200)

Elektronenstrahlschreiber Raith EBPG 5200

Strahlquelle  Schottky-Feldemissionskathode
Beschleunigungsspannung 20 kV, 50 kV oder 100 kV