Icon AG244 v01

Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Ausstattung

- Ausstattung
- Forschung
- Technologie

Rasterelektronenmikroskop (REM)

Bild des Rasterelektronenmikroskops

Hersteller:	ZEISS
Typ:	GeminiSEM 560
Baujahr:	2022
Strahlenergie:	max. 30 keV

Elektronenstrahlschreiber

Php Yu Ah Li

Hersteller:	Raith
Typ:	EBPG 5200
Baujahr:	2017
Strahlenergie:	20, 50 oder 100 keV

Kontakt

Arbeitsgruppenleiter

Dr. Thomas Weimann

Telefon: (0531) 592-2281
E-Mail:
thomas.weimann(at)ptb.de

Anschrift

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Bundesallee 100
38116 Braunschweig