Logo der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Profil

Die Aufgaben unserer Arbeitsgruppe gliedern sich in zwei Themengebiete. Zum einen ist sie für den Betrieb und die Infrastruktur des Reinraumzentrums der PTB verantwortlich. Zum anderen betreibt sie Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Micro- und Nanostrukturierung und Analytik im Hinblick auf den Einsatz in metallischen und Halbleiter-Dünnschicht-Strukturen. Zur Realisierung solcher Strukturen wird durch die Arbeitsgruppe ein Elektronenstrahlschreiber (EBPG) betreiben, welcher ein Realisierung im sub-Nanometerbereich ermöglicht. Ein weitere Schwerpunkt liegt außerdem im Betreib eines hochauflösenden Rasterelektronenmikroskops (REM) für die analytische Qualitätskontrolle der Micro- und Nanostrukturen. Dadurch unterstützen wir zahlreiche weiter Arbeitsgruppen der PTB in ihren Forschungsprojekten.

Nach oben

Forschung/Entwicklung

Unsere Arbeitsgruppe ist im Rahmen der Nano- strukturierung in eine Vielzahl von Forschungs- vorhaben eingebunden. Dabei unterstützt sie vor allem die Arbeitsgruppen 2.41, 2.42 und 2.43 in ihren Tätigkeiten.

 

 

 

Nach oben

Dienstleistungen

Unsere Arbeitsgruppe bietet keine Dienstleistungen an.

Nach oben

Informationen

Nach oben