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Einzelladungs-Schaltungen

Arbeitsgruppe 2.42

Herstellung von metallischen sub-µm-Strukturen

Schrägbedampfung

Diese Technik beginnt mit der Herstellung einer Schattenmaske. Durch diese Maske wird dann unter einem Winkel eine erste Metallschicht aufgedampft und die Tunnelbarriere durch einen Oxidationsprozeß erzeugt. Unter einem anderen Winkel wird die zweite Metallschicht aufgedampft.





Dieses Verfahren ermöglicht die in situ Herstellung von Tunnelkontakten, wobei die Kontaktgröße durch die Aufdampfwinkel eingestellt werden kann. Von Nachteil sind die unerwünschten Schatten und die Beschränkung auf niedrigschmelzende Materialien wie Aluminium.

Die Erweiterung der Schrägbedampfung auf drei Aufdampfprozesse unter drei verschieden Winkeln ermöglicht durch die in situ Integration von Widerständen die Herstellung von Einzelelektronenpumpen mit verbesserten Eigenschaften.