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On-Wafer-Mikrowellenmesstechnik

Rückführbare Messung von Streuparametern in planaren Wellenleitern

Bei der Entwicklung und Produktion von planaren Mikrowellenschaltungen sind beträchtliche Kosteneinsparungen möglich, wenn man nicht wie bisher die Streuparametermessungen an den Koaxialanschlüssen des kompletten Gehäuses vornimmt, in das der zu untersuchende Chip eingebaut werden muss, sondern direkt auf der Waferebene misst. Bei schadhaften Chips entfallen dabei die hohen anteiligen Kosten für das Packaging sowie für die aufgrund der parasitären Gehäuse- und Verbindungseigenschaften erschwerte Fehlersuche.

Im Gegensatz zu koaxialen Wellenleitern, in denen die rückführbare Messung von Streuparametern längst etabliert ist, existieren derzeit in planaren Schaltungen hierfür weltweit noch keine Ansätze. Seit Jahren herrrscht aus diesem Grund in Industrie und Forschung ein großes Interesse an rückführbaren Streuparametermessungen bis in den hohen GHz-Bereich.

Diese Thematik wird zur Zeit in dem EMPIR-Projekt 14IND02 PlanarCal — "Microwave measurements for planar circuits and components" bearbeitet. Die PTB fungiert dabei als Projektkoordinator.