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On-Wafer-Streuparametermesstechnik

Arbeitsgruppe 2.23

Profil

Streuparameter bzw. S-Parameter sind das am häufigsten eingesetzte Werkzeug zur Analyse von Schaltungen der Mikrowellen- und HF-Technik. Da je nach Wellenleiter konventionelle Ströme und Spannungen nicht immer existieren, werden Streuparameter auf normierte Wellengrößen zurückgeführt. Die Messung von Streuparametern erfolgt mit vektoriellen Netzwerkanalysatoren, nachdem eine Systemfehlerkorrektur mit Kalibriernormalen durchgeführt wurde.

Die Arbeitsgruppe untersucht wesentliche Aspekte, die sowohl den Frequenzbereich als auch die Einsatzmöglichkeiten der klassischen Streuparametermesstechnik erweitern. Einen Schwerpunkt bildet dabei die Entwicklung von rückführbaren Messverfahren für planare Bauteile und Komponenten (On-Wafer-Mikrowellenmesstechnik, EMPIR-Projekt PlanarCal). Zusätzliche Aktivitäten umfassen die breitbandige Messung dielektrischer Stoffeigenschaften sowie die Charakterisierung von Interconnects in höchstintegrierten Schaltungen der Mikroelektronik und Mikrowellentechnik.

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Forschung/Entwicklung

Die Arbeitsgruppe 2.23 betreibt folgende Forschungs- und Entwicklungsarbeiten:

  • On-Wafer-Mikrowellenmesstechnik:

    • Koordination des EMPIR-Projekts 14IND02 PlanarCal — "Microwave measurements for planar circuits and components" (abgeschlossen)
    • EMPIR-Projekt 18SIB09 TEMMT – "Traceability for electrical measurements at millimetre-wave and terahertz frequencies for communications and electronics technologies"

  • Breitbandige dielektrische Materialmesstechnik für Substrate der HF-Industrie:

    • EMRP-Projekt EMINDA (abgeschlossen)

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Dienstleistungen

Die Arbeitsgruppe 2.23 bietet Dienstleistungen in folgenden Bereichen an:

  • Rückführung planarer Streuparametermessungen bis 110 GHz
    (derzeit auf Quarzglas, weitere Substrate befinden sich in der Entwicklung)
  • Charakterisierung kommerzieller Substrate
  • dielektrische Materialmesstechnik (siehe Zusatzleistungen im Qualitätsmanagement-Handbuch der Abt. 2)

 

Link zu den Kalibrier- und Messmöglichkeiten der Abteilung 2

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Informationen

Opens internal link in current windowPublikationen

Weitere fachbezogene Aktivitäten


Committees

  • IEEE Workshop on Signal Propagation on Interconnects, Standing Committee
  • MTT-11 Microwave Measurements Technical Committee
  • National URSI Commission A: Electromagnetic Metrology

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