dimensionelle Messtechnik
Fertigungsmesstechnik
Dabei werden die Markerstrukturen in den Fokus eines Lasers gebracht und das von ihnen gestreute Licht auf einer Quadrantendiode detektiert. Bei exakter Überlagerung der Strukturen ergibt sich eine symmetrische Intensitätsverteilung an der Diode. Abweichungen hiervon sind ein genaues Maß für die Güte der Überlagerung. Die Methode lässt sich mit einfachen optischen Komponenten in einen Messprozess integrieren. (Technologieangebot 522)
Auflösung räumlicher Überlagerung < 1 nm
schnelle Detektion
einfache Integration
Andreas Barthel,
Telefon: (0531) 592-8307,
andreas.barthel(at)ptb.de,
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