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Symbolbild "Zeitschriften"

Hybrides Mikroskop

PTB News 2.2021
26.03.2021
Besonders interessant für

dimensionelle Messtechnik

Hersteller interferometrischer Mikroskope

Die Rasterkraftmikroskopie steht vor der Herausforderung, dreidimensionale Strukturen schnell und präzise zu messen. Diese schnelle Inspektion auf größere Flächen auszudehnen ist Ziel eines neuen hybriden Messsystems. 

Interferenzstreifen auf einem Cantilever

Die Entwicklung der PTB integriert in den Aufbau eines interferometrischen optischen Mikroskops eine Rasterkraftmesseinrichtung, die zur Aufnahme eines detaillierten Ausschnitts in den optischen Pfad geschwenkt wird. Die Besonderheit dabei ist, dass der interferometrische Messpfad gleichzeitig als Auswerteeinheit des Rasterkraftmikroskops dient. Die Projektion des Interferenzbilds auf dem Cantilever erfolgt mit einer neuen Bildanalyse, bei der die Position der Interferenzstreifen ausgewertet wird. Das System ist somit einfach in bestehende interferometrische Messgeräte integrierbar. (Technologieangebot 511)

 

 

 

 

Vorteile

Erhöhung der dreidimensionalen Auflösung interferometrischer Mikroskope

Reduzierung der Messzeit

Nachrüstung in bestehende Systeme