Ansprechpartner
Andreas Barthel,
Telefon: (0531) 592-8307,
andreas.barthel(at)ptb.de,
www.technologietransfer.ptb.de
Die Entwicklung der PTB integriert in den Aufbau eines interferometrischen optischen Mikroskops eine Rasterkraftmesseinrichtung, die zur Aufnahme eines detaillierten Ausschnitts in den optischen Pfad geschwenkt wird. Die Besonderheit dabei ist, dass der interferometrische Messpfad gleichzeitig als Auswerteeinheit des Rasterkraftmikroskops dient. Die Projektion des Interferenzbilds auf dem Cantilever erfolgt mit einer neuen Bildanalyse, bei der die Position der Interferenzstreifen ausgewertet wird. Das System ist somit einfach in bestehende interferometrische Messgeräte integrierbar. (Technologieangebot 511)
Erhöhung der dreidimensionalen Auflösung interferometrischer Mikroskope
Reduzierung der Messzeit
Nachrüstung in bestehende Systeme
Andreas Barthel,
Telefon: (0531) 592-8307,
andreas.barthel(at)ptb.de,
www.technologietransfer.ptb.de