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Symbolbild "Zeitschriften"

Prüfkörper mit extrem scharfen Kanten

PTBnews 1.2021
26.02.2020
Besonders interessant für

Kalibrierlaboratorien

Hersteller von Tastspitzen

Mikrobauteil aus einem Siliziumwaferverbund

Die PTB hat ein neues Verfahren für die dimensionelle Messtechnik entwickelt, das zur Herstellung von Normalen mit tiefen Gräben und scharfen Kanten geeignet ist. Durch Nutzung eines anisotropen Ätzprozesses wird unter einem Siliziumwafer mit einer <110>-Kristallorientierung als Ätz-Stopp-Schicht ein <111>-Wafer als zweite Siliziumschicht appliziert. Durch einen lithografischen Prozess können aus dem Silizium-auf- Silizium-Verbund Prüfnormale mit unterschiedlich breiten, scharfkantigen Rillen, senkrechten Flanken und ebenen Böden erzeugt werden. Sie dienen in einem ersten Anwendungsbeispiel zur normgerechten Überprüfung von Tastspitzen zur taktilen Vermessung in der Rauheitsmesstechnik. (Technologieangebot 496)

Vorteile

Herstellung von scharfen Kanten

Gräben mit hohem Aspektverhältnis und einem ebenen Boden

normgerechte Umsetzung

Ansprechpartner für diese Technologieangebote

Andreas Barthel, Telefon: (0531) 592-8307, E-Mail: Opens local program for sending emailandreas.barthel(at)ptb.de, Opens internal link in current windowwww.technologietransfer.ptb.de