Logo PTB
Symbolbild "Zeitschriften"

EUV-Reflektometrie

PTBnews 1.2021
07.01.2021

Die PTB hat ihre seit 1998 bestehende enge Zusammenarbeit mit ZEISS bis 2024 verlängert. An ihrem Standort Berlin-Adlerhof wird sie somit ihre Messmöglichkeiten weiter ausbauen: Neben dem Wellenlängenbereich um 13,5 nm (EUV) entstehen mikroskopische Analysemethoden mit kurzer Wellenlänge für die Halbleitertechnik und zukünftig auch für weitere Technologiefelder wie die Medizintechnik („Wasserfenster“ bei 2,3 nm bis 4,4 nm). (Ansprechpartner: Michael Kolbe, 030-3481 7131, Opens local program for sending emailmichael.kolbe(at)ptb.de)