Mikrokoordinatenmessgeräte können kleinste Zahnräder, Einspritzdüsen oder Mikrokanäle für die Biochemie mit Messunsicherheiten von deutlich unter 0,5 μm vermessen. Bei bisherigen kommerziellen Systemen sind die Antastelemente relativ teuer. Der 3D-Mikrotaster aus der PTB zeichnet sich durch seine annähernd isotrope Steifi gkeit aus. Er wird in Hybrid-Silizium-Technik – also unter Verwendung von lithografi schen und mikromechanischen Techniken – hergestellt. Somit kann eine große Anzahl von Tastern gleichzeitig produziert werden, was die Kosten der Herstellung senkt. Weil die Mikrotaster in einer neuartigen Wechseleinrichtung auf den Tastköpfen sehr einfach ausgewechselt werden können, zeichnen sie sich außerdem durch kurze Rüstzeiten aus.
sebastian.buetefisch