273. PTB Seminar
25.11.2013
Am 24. und 25. Oktober 2013 fand das 273. PTB-Seminar „VUV and EUV Metrology“ im Hörsaal des Helmholtz-Zentrums Berlin am Elektronenspeicherring BESSY II in Berlin-Adlershof statt. An zwei Tagen diskutierten mehr als 110 Teilnehmer aus Industrie und Forschung aktuelle Entwicklungen im Bereich der Anwendung, Instrumentierung und Messtechnik von und für die Spektralbereiche des Vakuum- und Extrem-Ultraviolett. Das Programm umfasste 29 eingeladene Vorträge, eine begleitende Posterschau sowie eine Besichtigung der PTB-Messeinrichtungen an der Metrology Light Source. Die Durchführung wurde von zahlreichen Unternehmen (Carl Zeiss SMT, ASML, BESTEC, Bruker, Iszgro Diodes, Optixfab, Rigaku, Technoexan) sowie dem Helmholtz-Fonds unterstützt.
Ansprechpartner:
F. Scholze, 7.12, E-Mail: 
Frank.Scholze(at)ptb.de