PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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PTB-F-57 |
Implementierung von Geradheitsmessungen am Nanometerkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt |
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| Autor(en): | |
| Report Typ: | PTB-Report |
| Jahr: | 2016 |
| ISBN: | 978-3-95606-297-1 |
| ISSN: | 0179-0609 |
| Bemerkung: | Dissertation |