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PTB-F-55

3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beiträge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010

Autor(en): Hans-Ulrich Danzebrink
Report Typ: PTB-Report
Jahr: 2007
Seite(n): CD-ROM
ISBN: 978-3-86918-103-5
ISSN: 0179-0609
Bemerkung: 3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beiträge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010

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