PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

Referenzen

	PTB-F-28 H.-J. Schuster und C.-J. Hora Prozeßperipherie PP2 - Leistungsmerkmale und Anwen-dungshinweise 1997 ISBN 3-89701-020-8
	PTB-F-27 H.-U. Danzebrink Nahfeldmikroskopischer Sensor mit interner Signalwandlung 1997 ISBN 3-89429-830-8
	PTB-F-26 R. Köning Nanostrukturierung mit dem Rastertunnelmikroskop 1997 ISBN 3-89429-829-4
	PTB-F-25 P. Wiese Interferometer mit wellenlängenmoduliertem Diodenlaser für die Oberflächenmeßtechnik 1997 ISBN 3-89429-822-7
	PTB-F-24 A. Siebert Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken 1996 ISBN 3-89429-741-7
	PTB-F-23 J. Flügge Vergleichende Untersuchungen zur meßtechnischen Leistungsfähigkeit von Laserinterferometern und inkrementellen Maßstabmeßsystemen 1996 ISBN 3-89429-683-6
	PTB-F-22 D. Hüser Entwicklung von Methoden zur Bestimmung der Meßun-sicherheit von Triangulationssensoren in der Koordinatenmeßtechnik 1995 ISBN 3-89429-666-6
	PTB-F-21 K. Hasche, Miranda W.0e und Wilkening G. (Eds.) Proceedings of the International Seminar on Quantitative Microscopy 1995 ISBN 3-89429-921-5
	PTB-F-20 X. Zhao Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestim-mung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer 1995 ISBN 3-89429-663-1
	PTB-F-19 K. Hasche und Herrmann K. (Hrsg.) Gaslaser-Applikationen für Längen- u. Brechzahlmessungen 1994 ISBN 3-89429-476-0
	PTB-F-18 Wilkening G. (Hrsg.) Silicium in der Meßtechnik - Vorträge des 104. PTB-Seminars 1994 ISBN 3-89429-469-8
	PTB-F-17 H. Kunzmann und Schuster H.-J. (Ed.) Temperature Measurements in Dimensional Metrology 1995 ISBN 3-89429-562-7

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