PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

Referenzen

	PTB-F-52 SEM based dimensional metrology 2007 ISBN 978-3-86509-647-0
	PTB-F-51 Shizhi Cao Der Antastprozess von Mikrotastern bei dimensionellen Messungen 2005 ISBN 3-86509-432-5 ; ISSN 0179-0609
	PTB-F-50 Michael Neugebauer und Ulrich Neuschaefer-Rube Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal 2005 ISBN 3-86509-283-7
	PTB-F-49 Ralf D. Geckeler Requirements and recent developments in high precision angle metrology Proceedings of the 186th PTB-Seminar, 5th Nov. 2003 2003 ISBN 3-86509-112-1
	PTB-F-48 Bernd [speaker] Bodermann und Werner Mirandé CD-Metrology Proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003 2003 ISBN 3-86509-113-X
	PTB-F-47 Claudio Dal Savio, Thorsten Dziomba, Dmitri Kazantsev und Hans-Ulrich Danzebrink Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 2003 ISBN 3-86509-064-8
	PTB-F-46 Carl Georg Frase Untersuchungen zur Signalentstehung mittels Sekundärelektronen an Mikrostrukturen in einem Niederspannungs Rasterelektronenmikroskop 2003 ISBN: 978-3-89701-953-9
	PTB-F-45 Requirements and recent developments in high precision length metrology : proceedings of the 159. PTB-Seminar 2001 ISBN 3-89701-841-1
	PTB-F-44 Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001 2002 ISBN: 978-3-89701-840-2
	PTB-F-43 Reinhard Probst und Reiner Wittekopf Angle calibration on precision polygons : final report of EUROMET project # 371 2001 ISBN 3-89701-769-5 ; ISSN 0179-0609
	PTB-F-42 Christian H. Harms Interferenzkomparator zur Längenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern 2000 ISBN 3-89701-720-2 ; ISSN 0179-0609
	PTB-F-41 Thomas Kleine-Besten Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen 2001 ISBN 3-89701-698-2

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