PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern |
| Autor(en): |
F. Schmaljohann |
| Report Typ: |
PTB-Report |
| Jahr: |
2015 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-56 |
| ISBN: |
978-3-95606-233-9 |
| ISSN: |
0179-0609 |
| Bemerkung: |
Dissertation |
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