PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beiträge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010 |
| Autor(en): |
H.-U. Danzebrink |
| Report Typ: |
PTB-Report |
| Jahr: |
2007 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-55 |
| Seite(n): |
CD-ROM |
| ISBN: |
978-3-86918-103-5 |
| ISSN: |
0179-0609 |
| Bemerkung: |
3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beiträge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010 |
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