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PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

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Bericht

Titel: Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Autor(en): T. Kleine-Besten
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Report Typ: PTB-Report
Jahr: 2001
Dokument Nummer: PTB-F-41
Seite(n): VII, 109
ISBN: ISBN 3-89701-698-2
Bemerkung: Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen ; (PTB-Bericht PTB-F-41) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss.

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