PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
Titel: | Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen |
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Autor(en): | T. Kleine-Besten |
Editor: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
Report Typ: | PTB-Report |
Jahr: | 2001 |
Dokument Nummer: | PTB-F-41 |
Seite(n): | VII, 109 |
ISBN: | ISBN 3-89701-698-2 |
Bemerkung: | Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen ; (PTB-Bericht PTB-F-41) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss. |