PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Interferenzkomparator zur Längenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern |
| Autor(en): |
C. H. Harms |
| Editor: |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Report Typ: |
PTB-Report |
| Jahr: |
2000 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-42 |
| Seite(n): |
Getr. Zählung |
| ISBN: |
ISBN 3-89701-720-2 ; ISSN 0179-0609 |
| Bemerkung: |
Interferenzkomparator zur Längenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern ; (PTB-Bericht PTB-F-42) ; Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss. |
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