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Symbolbild: "Wissenschaftlich-technische Publikationen"

PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

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Bericht

Titel: Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001
Editor: Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Report Typ: PTB-Report
Jahr: 2002
Dokument Nummer: PTB-F-44
Seite(n): 214 , 220 Abb., 25 Tab.
Verschiedenes: € 23,00
ISBN: ISBN: 978-3-89701-840-2
Zusammenfassung: In 31 Beiträgen wird ein Einblick in den derzeitigen Stand der quantitativen Erfassung von Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich vermittelt. Die Beiträge verteilen sich nahezu gleichmäßig auf die Themenbereiche: Normale und Kalibriermethoden – Angewandte Messungen – Neue Instrumente und Messmethoden. Die Rastersondenmikroskopie bildet mit mehr als der Hälfte der Beiträge den instrumentellen Schwerpunkt. Thematischer Schwerpunkt ist die Messung von Stufenhöhen und die Kalibrierung von Messgeräten in der entsprechenden z-Achse.
Bemerkung: Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001 ; Dimensional measurements in the micro- and nanometre range ; (PTB-Bericht PTB-F-44)

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