PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal |
| Autor(en): |
M. Neugebauer und U. Neuschaefer-Rube |
| Editor: |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Report Typ: |
PTB-Report |
| Jahr: |
2005 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-50 |
| Seite(n): |
32 , 32 tw. farb. Abb., 4 Tab. |
| Verschiedenes: |
€ 10,00 |
| ISBN: |
ISBN 3-86509-283-7 |
| Zusammenfassung: |
Es wird über Vergleichmessungen zwischen optischen Koordinaten-messgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal berichtet. Die Ergebnisse verdeutlichen den Stand der Technik bei der Messung komplexer 2D-Konturen mit optischen KMG. Die Referenzmessungen erfolgten mit einem Masken- und Wafer-Metrologiesystem. Es wurde experimentell nachgewiesen, dass die Qualität der Chromkanten einen entscheidenen Einfluss auf die Vergleichbarkeit von Messungen im Auflichtmodus und im Durchlichtmodus hat. |
| Bemerkung: |
Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal ; (PTB-Bericht PTB-F-50) |
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